電容式壓力變送器通過檢測中心測量膜片與兩側測量室壁之間的電容變化來判別膜片受壓位移狀況。
    擴散硅壓力變送器有兩類，其中一類是將擴散硅電橋植入到檢測中心測量膜片上來判別膜片受壓位移狀況。
    以上兩種由于是直接測量中心測量膜片（被測壓力直接作用處）的位移。且測量膜片可以加上巨大的預應張力，使得金屬膜片位移所導致的應力影響極小。所以精度較高。
    另一種擴散硅壓力變送器是將測量膜片感受的力傳導到一個擴散硅傳感器，通過擴散硅傳感器的輸出來得出被測壓力。由于壓力不是作用在傳感器上而是加了一次傳遞，所以相對精度低一些，且擴散硅元件品質不一（多數變送器廠家不是自己生產擴散硅元件）導致質量差別很大。但是，但是價格可以很低。